北海道千歳市で次世代半導体の国産化を目指す「ラピダス」は、半導体の製造工場に要となる「ＥＵＶ露光装置」を搬入し、設置作業を開始したことを発表しました。
（Rapidus株式会社 小池淳義代表取締役社長）「ＥＵＶの装置、微細化を進めるうえで極めて重要な装置を搬入するということになりました」
きょう（２０２４年１２月１８日）新千歳空港で行われたのは、半導体の製造の要となる「ＥＵＶ露光装置」の搬入記念式典です。
式典には鈴木知事や横田市長なども参加しました。
ＥＵＶ露光装置は１２月に新千歳空港に到着し、１８日、ラピダスが建設中の開発・生産拠点「ＩＩＭ－１」に搬入され、設置作業が開始されました。
日本では、量産に対応したＥＵＶ露光装置が導入されるのは初めてとなります。
ラピダスは２０２５年３月末までにすべての装置の設置を完了させ、２０２５年４月から試作ラインを稼働する予定としています。