OKI、排ガス処理装置をオン・セミコンダクター社欧州拠点へ追加納入

JCN Newswire / 2014年9月16日 12時3分

独自のフィルタ構造で長期間メンテナンス不要を実現

Tokyo, Sept 16, 2014 - (JCN Newswire) - OKIグループの信頼性評価と環境保全の技術サービスを展開するOKIエンジニアリング(社長:浅井 裕、本社:東京都練馬区、以下OEG)は、このたび半導体メーカーであるオン・セミコンダクター社(社長:ケイス・ジャクソン、本社:米国 アリゾナ州フェニックス)のヨーロッパ拠点に常圧CVD※1製造装置用排ガス処理装置「KGT-3MM-AP」を追加納入しました。本装置は、独自の目詰まりしにくいフィルタ構造を採用することにより、長期間メンテナンス不要のため、半導体メーカーの生産効率および環境保全の維持に寄与します。

Power FET※2やIGBT※3などのパワーデバイスの製造においては、絶縁膜製造のためCVD製造装置が欠かせません。しかし、このCVD製造装置には人体に有害なガスが使われるため、排ガス処理が必要となります。

OEGの排ガス処理装置「KGT-3MM-AP」は、特殊なステンレス製のフィルタを採用したことで有害ガスおよび微粉体の除害性能の効率化と目詰まりしにくい構造を実現し、長期間メンテナンス不要のため、運用の負荷を軽減します。さらに、本装置に微圧計を取り入れ、排気ファンのインバーター制御で安定した排気圧力を維持し、常圧CVDにおいて長期間に渡り安定した製膜製造が可能となっています。

OEGは、2009年にはじめて天谷製作所(社長:吉岡 献太郎、本社:埼玉県越谷市)製の連続常圧CVD製造装置の排ガス処理装置として、オン・セミコンダクター社に「KGT-3MM-AP」を納入しました。以来、トラブルが無く稼働しています。安定してCVD膜製造に寄与していることが評価され、追加納入となりました。今回は、さらに常圧CVD製造装置メンテナンス中に発生する圧力異常を検知し、新しく開発した、装置異常を自動的にリセットするオプション機能を追加し、生産性向上に寄与します。

OEGは、今後欧州および東南アジアなどへの展開を拡大していきます。

【「KGT-3MM-AP」仕様】
商品名: 常圧CVD製造装置用排ガス処理装置
KGT-□MM-AP (□: 1、3、10、特)
処理能力: □m3/min (□: 1、3、10、特注仕様)
圧力制御: -0.15 ~ -0.40KPaの範囲の一定陰圧、または、指定陰圧に保持
対象用途: 常圧CVD、太陽電池、ウエハー製造

【リリース関連リンク】
「環境システム技術」紹介サイト: http://www.oeg.co.jp/env_sys/index.html

【オン・セミコンダクター社について】
社名: オン・セミコンダクター(ON Semiconductor)
本社: 米国 アリゾナ州フェニックス
社長: ケイス・ジャクソン(Keith D. Jackson)
事業内容: エネルギー効率の高い電子機器のための高性能シリコン・ソリューションを提供する最先端のサプライヤー
URL: http://www.onsemi.jp/

【天谷製作所について】
社名: 株式会社天谷製作所
本社: 埼玉県越谷市西方3491-1
代表取締役社長: 吉岡献太郎
事業内容: 半導体・太陽電池等で使用するSiH4系およびTEOS系NSG膜、PSG膜、BPSG膜の成膜が可能な常圧CVD装置の製造、設置
URL: http://www.amaya-cvd.co.jp/

【用語解説】
※1. CVD: Chemical Vapor Deposition(化学気相成長法)
加熱した基板上にさまざまな物質の薄膜を形成する蒸着法の一つ。
※2. Power FET: Power Field-Effect Transistor
大電力を取り扱うように設計されたMOSFETのこと。 他のパワーデバイスと比較するとスイッチング速度が速く、低電圧領域での変換効率が高いため、200V以下の領域で、スイッチング電源や、DC-DCコンバータなどに用いられる。
MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)は、電界効果トランジスタ (FET) の一種で、LSIの中では最も一般的に使用されている構造である。材質としては、シリコンを使用するものが一般である。
※3. IGBT: Insulated Gate Bipolar Transistor(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)
半導体素子のひとつで、MOSFETをゲート部に組み込んだバイポーラトランジスタのこと。電力制御の用途で使用される。

沖電気工業株式会社

OKIは米国でグラハム・ベルが電話機を発明したわずか5年後の1881年に創業した、日本で最初に電話機を製造した情報通信機器メーカーです。先見性と勇気をもって果敢に挑戦・行動するという、創業以来の「進取の精神」を連綿と受け継ぎ、ブランドスローガン「Open up your dreams」のもと事業展開しています。現在、「金融システム」「通信システム」「情報システム」「プリンタ」「電子部品・モジュール他」の5つの分野において、OKIグループは社会の発展に寄与する最先端技術の商品・サービスをお客様にお届けし、世界の人々の快適で豊かな生活の実現に貢献しています。詳細はこちらからご覧ください。 http://www.oki.com/jp/



Source: 沖電気工業株式会社

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