センサや電子部品の飛躍的な小型化に貢献可能な「微細な金属材料と樹脂材料の複合立体形成技術」を開発

@Press / 2018年2月7日 11時0分

センサおよびMEMS製品の設計、開発、製造および販売を行う株式会社テクノロジー・イノベーション(本社:長野県塩尻市、代表取締役社長:矢吹 尚秀、以下 テクノロジー・イノベーション)は、株式会社小野田製作所(本社:長野県上伊那郡、代表取締役:今井 和貴、以下 小野田製作所)と長野県工業技術総合センター精密・電子・航空技術部門(所在地:長野県岡谷市)と共同で、微細な金属材料と樹脂材料を複合させ立体形成する技術を開発しました。
この技術はMEMS技術を応用し、金属材料と樹脂材料からなる微細な立体構造物を一括で形成できる技術であり、センサや電子デバイスの飛躍的な小型化が期待できます。
テクノロジー・イノベーションは、半導体をコアにシステム提案、設計開発サービスを提供する株式会社PALTEKのグループ会社です。

画像1: https://www.atpress.ne.jp/releases/148523/LL_img_148523_1.png
試作した立体構造物と毛髪の比較

■開発の背景
MEMS(※1)製品は動作させるために電気配線が必要となります。従来のMEMS製品は電気抵抗が高いシリコン(※2)上に金属薄膜(※3)を形成して配線を行いますが、金属薄膜は微細化すると強度はもろくなり、強度と電気特性を両立させることは困難でした。
この課題を解決するため、テクノロジー・イノベーションが有するMEMS開発に関する技術をベースに、電子部品・機械部品への微細メッキ(※4)を得意とする株式会社小野田製作所が強度・電気特性に優れたメッキ技術を、長野県工業技術総合センターがMEMSプロセス、評価技術を持ち寄り、構造体の強度と電気特性を両立できる金属材料と樹脂材料からなる微細な立体構造物を形成する技術の開発に成功しました。

<今回の開発技術により形成した立体構造物>
https://www.atpress.ne.jp/releases/148523/img_148523_2.png


■技術の特長
1. 0.01 mm以下の加工精度で微細構造を形成可能
MEMS技術を応用した微細加工技術のため、曲線や微細な凹凸などの複雑形状を、0.01mm以下の高い精度で作り込むことができます。

<試作した立体構造物と毛髪の比較>
https://www.atpress.ne.jp/releases/148523/img_148523_1.png

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