搭載機能の最適化により容積を半分以下に抑えた独自真空貼付方式の真空テープ貼付装置「VTL-100」を発売

PR TIMES / 2012年7月3日 10時44分

NECエンジニアリングは、半導体ウェハや、ガラス、フィルムなど、多様な製品に
テープやフィルムの貼り付けが可能な真空テープ貼付装置に、低価格・省スペース・
エコを実現したエントリーモデル「VTL-100」を追加し、本日より受注を開始しました。

新製品の主な特長は、次のとおりです。

1.低負荷で高い密着性
　真空差圧方式を用いた当社独自の真空貼付により、ウェハ表面に構造物のある
　MEMSやTAIKO(R)ウェハを始めとする極薄ウェハにも、気泡が入りにくく密着性の
　高い貼り付けが可能です。
　また、貼り付けローラが不要なため、ウェハに局部的な負荷を与えません。

2.低価格・省スペース
　対応するウェハサイズや条件設定登録数などの機能を絞ることにより、上位機種
　（VTL-201）から価格を40％低減しました。
　また、重量は約33％、容積は63％削減し、省スペース化を実現しました。

3.エネルギー消費を大幅カットしエコに貢献
　本体の消費電力は、上位機種（VTL-201）から約26％低減した約50Ｗに抑え、
　さらに、圧縮エアーの使用量も約55％削減し、エコに貢献しています。

本製品の価格は、税別450万円（真空ポンプ、治具1セット含む(注1)）です。
ダイシングやメッキなどの加工を行っているEMS(注2)企業などへも拡販し、
上位機種（VTL-201）や全自動装置（ATL-200）などを含む真空テープ貼付装置
シリーズとして、今後2年間で3億円の売り上げを見込んでいます。

新製品の写真および基本仕様については、以下のURLをご参照ください。
http://www.nec-eng.co.jp/press/index.html

（注1）付属品
　　　【真空ポンプ】スクロールポンプを標準装備
　　　【治具1セット】以下の3つから1つを選択。
　　　　・MEMS用セット治具（MEMSウェハにテープを貼り付ける際に使用）
　　　　・ウェハセット治具（ウェハにテープを貼り付ける際の位置決めに使用）
　　　　・貼り合せ用セット治具（ウェハまたは基盤を貼り合わせる際の位置決めに使用）

　　　本体のみ（ポンプ、治具セットなし）、治具セットのみも販売します。

（注2）EMS：Electronics Manufacturing Service

※TAIKOは株式会社ディスコの登録商標です。

＜新商品に関する情報＞
　http://www.nec.co.jp/engsl/pro/fa_tape/vtl100.html

＜本件に関するお客様からのお問い合わせ先＞
　NECエンジニアリング　営業本部　プロダクト営業部
　電話：（03）6713-1220

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