昭和電工、高効率・大型乾式の温暖化ガス分解装置「HB-3000」を製品化

JCN Newswire / 2012年9月5日 10時54分

Tokyo, Sept 5, 2012 - (JCN Newswire) - 昭和電工株式会社(社長: 市川 秀夫)は、水処理工程が不要な乾式のハイブリッドシステムにより、処理能力の増加とランニングコストの削減を実現するPFC分解装置「HB-3000」の開発を完了し、2012年中に販売を開始いたします。

液晶パネルや半導体のエッチング工程で使用されるPFC(パーフルオロカーボン)は、地球温暖化係数の高い温室効果ガスであり、使用後排出の際に分解処理する必要があります。分解方法には化学反応方式と触媒方式がありますが、ハイブリッドシステムを採用した本製品は両方式の利点を融合したものです。

化学反応方式は、排水処理が不要でCO2排出量も少ないのが特長ですが、PFC分解と分解時発生するフッ素分固定を同時に行う高性能の反応剤を用いるため、ランニングコストがかかるとともに、反応剤充填容器の容量制限により、処理できる排ガス量は毎分200リットル程度までに限られます。一方、触媒方式は、PFCを触媒分解し、分解生成したフッ素分を水に吸収させるシステムなので、ランニングコストが安く大型化による大量の排ガス処理が可能となる一方、排水等の後処理が必要になります。

今回、触媒方式におけるフッ素分除去工程を、安価なカルシウム系の反応剤を用いて乾式化することに成功いたしました。本製品の従来品に比べた特長は以下のとおりです。

(1) 反応剤を直接装置に自動供給・排出するため充填容器による容量制限が無く、従来の大型の触媒方式と同等の排ガス処理能力(毎分3,500リットル)を保ちながら、20フィートコンテナに収まるコンパクトサイズを、後処理工程を不要としたことにより実現。
(2) 化学反応方式と比べた反応剤にかかるランニングコスト、触媒方式と比べた水処理コストの削減。
(3) 除害後に発生するCaF2(フッ化カルシウム)は、合成蛍石として再利用することも可能。

当社は半導体高純度ガス事業を成長・育成分野に位置づけており、液晶パネルや半導体製造において高い成長が期待される中国などの海外市場を含め販売を展開し、2015年には排ガス処理装置事業全体で年間30億円の売上を目指します。

昭和電工株式会社

詳細は www.sdk.co.jp をご覧ください。



Source: 昭和電工株式会社

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