Rolith社とSUSS MicroTec社、第2世代ナノリソグラフィー装置を発表

JCN Newswire / 2013年3月7日 11時50分

Pleasanton, Ca., Mar 7, 2013 - (JCN Newswire) - ナノ構造形成技術及びその応用開発を行っているRolith社は本日、SUSS MicroTec社が、Rolith社からの独占的実施権の下において、第2世代にあたるナノ構造形成装置「RML-2」の試作機開発に成功したことを発表しました。この試作機は、Rolith社が開発した ローリングマスク・リソグラフィー(RML(TM)) と呼ばれる画期的なナノリソグラフィー方式を基にしています。RML-2により、ユーザーは大面積の基板(1m以内 x 0.3m以内)にナノ構造を効率的かつ安価に製造できるようになります。

この高スループット/低コスト・ナノパターニング技術を利用することで、再生可能エネルギー、電子機器、グリーン建築市場分野における製品の性能改善や新商品の開発が可能になります。RML技術で可能になる高度な製品の例としては、高変換効率ソーラー・パネル、高輝度LED、映り込みのない携帯電話やTVディスプレイ、低放射ガラス窓があります。Rolith社は円筒形で回転可能なマスクと近接場光学リゾグラフィーを用いた特許技術を有しています。マスクは、Rolith社が、それぞれの顧客のアプリケーションに合わせてカスタマイズしたものを提供することが可能です。準波長領域の分解能は位相シフト干渉効果やプラズモン増強構造を使うことで実現されています。ローリングマスク・リゾグラフィーを連続運転することで低コスト/高スループットの加工技術ができる可能性を秘めています。

RML-2ツールは、2011年に製造された第1世代の生成ツール(RML-1)で初めて実証された性能を更に高めたものです。RML-2は、コンベアーのような基板搬送機能を装備し、1m長のガラス基板や、複数の小さなガラス基板、または半導体ウエハを処理できます。さらに、RMLプロセスは基板表面の凸凹にも許容性が高く、建築用ガラスやLED用サファイアウエハの処理にも対応できます。

RML-2ツールは、現在、カリフォルニア州プレザントンにあるRolith社及び、東京の旭硝子のR&D施設において、納品されています。Rolith社では引き続き、ナノ構造技術を様々な分野へ応用し、商業化するための更なる共同開発パートナーを募っています。

Roith社共同創業者、CEOのBoris Kobrin博士は、次のように述べています。「我々は当社の新しいリソグラフィー・コンセプトの開発が進展したことを非常に嬉しく思っています。今回、Rolith社の第2世代リソグラフィー・ツールを世に送り出したことで、多くの業界からの本技術に対する関心の急激な高まりに、効果的に対応することができます」

SUSS MicroTec社の社長兼CEOのFrank Averdung氏は次のように述べています。「Rolith社の革新的光ナノリソグラフィーと当社の装置開発ソリューションを組み合わせることにより、微小構造を形成できるようになりました。さらに、連続ローリングマスクを活用することで、大型基板の加工も可能で、当社顧客に全く新しい可能性を提示できるものと考えています」

AGC America, Inc.の事業部長、臼井 寛氏は、次のように述べています。「今回の成果により、当社において、 ナノ構造を大面積に形成し、多様な市場に向けた活用が可能となります」

Rolith社について

Rolith社は、独自のナノリソグラフィー技術を使用してコンシューマーエレクトロニクスやグリーンテクノロジー向けのナノパターン加工技術/製品を開発しています。Rolith社は 2008年にBoris Kobrin博士、Mark Brongersma Stanford University教授、Julian Zegelmanの3人で創業され、現在カリフォルニア州プレザントンに拠点を置いています。また、ナノリソグラフィー、薄膜形成、エッチング、ナノフォトニック・デバイスの分野において包括的な特許ポートフォリオを持っています。Rolith社は SUSS MicroTec AGや旭硝子株式会社など戦略的パートナーと開発を進めています。現在の株主は、DFJ VTB Capital Aurora(Draper Fisher JurvetsonとVTB Capitalによる合同運用ファンド) 及びAGCグループのベンチャー投資機能であるAGCアメリカ株式会社 によって構成されています。

SUSS MicroTec 社について

SUSS MicroTec 社は半導体および関連デバイス市場に向けた微細構造形成用ウエハプロセス装置及びプロセスソリューションのリーディングサプライヤーです。研究開発機関や企業との緊密な協力関係を通じて、MEMS、LED 製造におけるキープロセスと目される、3次元構造形成やナノインプリントなど次世代技術の開発を進めています。SUSS MicroTec は 8,000 台を超える装置を全世界に設置しており、グローバルな体制でサービス、アプリケーションをサポートしております。ドイツ・ミュンヘン市近郊 Garching に本社があります。詳しくはSUSS MicroTec ウェブサイト http://www.suss.com をご覧ください。

旭硝子株式会社について

私たちAGCグループは、旭硝子株式会社を中心に、建築・自動車・ディスプレイ用ガラス、化学品、その他の高機能材料を世界のお客様に提供するソリューション・プロバイダーです。100年以上にわたる技術革新の歴史の中で、AGCグループはガラス、化学、セラミックスなどの分野で世界トップクラスのコア技術を培っています。

お問い合わせ先

EASTWEST PR for Rolith, Inc.
Melinda Ilagan
Associate Director
melinda@eastwestpr.com
+65 6222 0306

Grace Yu
Associate
grace@eastwestpr.com
+65 9855 9305

SUSS MicroTec AG
Franka Schielke
Investor Relations
Franka.schielke@suss.com
+49 89 32007 161

AGC
Hiroshi Usui
General Manager
hiroshi.usui@us.agc.com
+1 408 707 4264

Rolith, Inc.





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