「プラズマCVM技術※1を応用した超小型水晶振動子の開発」により「第42回 井上春成賞」を受賞

京セラ株式会社（社長：谷本 秀夫）は、「プラズマCVM技術※1を応用した超小型水晶振動子の開発」により、技術的な協力をいただいた大阪大学 山村和也准教授とともに、「第42回 井上春成（いのうえ はるしげ）賞」を受賞し、本日（2017年7月25日）、表彰式が執り行われましたので、お知らせいたします。

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表彰式の様子 （東京都：日本工業倶楽部会館にて）（左：社長 谷本秀夫、右：大阪大学 山村和也准教授）
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超小型水晶振動子「CX1008」（1目盛＝0.5mm）

「井上春成賞」は、大学や研究機関等の独創的な研究成果をもとに、企業が開発、企業化した技術で、日本国内の科学技術の進展に寄与し、経済の発展、福祉の向上に貢献したものの中から特に優れた技術について、井上春成賞委員会が研究者および企業を表彰するものです。
超小型水晶振動子の製品化では、大阪大学 山村和也准教授らの研究成果であるプラズマCVM技術※1をベースに、当社の圧電解析技術を用いることで超高精度の水晶ウエハ製造に成功しました。これにより、半導体フォトリソプロセスによる水晶素子のウエハ一貫工程を確立。一般的に難しいとされていた水晶振動子の小型化と高性能化を両立し、世界最小※2の水晶振動子の製品化に成功しました。本技術開発は、スマートフォンやウェアラブル端末の更なる拡大や補聴器・医療カプセルなどの小型化にも寄与することから、当社と大阪大学の産学連携による技術成果が高く評価され、今回の受賞にいたりました。
当社は本技術をベースに、車載向け低周波帯振動子、通信基地局向け高周波帯振動子、高精度発振器など、さまざまな製品の開発をさらに加速し、今後発展が期待される第5世代移動通信システムや先進運転支援システム（ADAS）など、IoTが進展する社会を支えてまいります。

■超小型水晶振動子「CX1008」の詳細について：
http://www.kyocera.co.jp/news/2017/0304_xstl.html

※1 プラズマCVM技術：Chemical Vaporization Machining（化学的気化加工
法）の略
※2 2017年2月末 京セラクリスタルデバイス株式会社 調べ
（京セラクリスタルデバイス株式会社は、2017年4月1日に京セラ株式会社へ
統合しました）



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