東京エレクトロンの半導体製造装置のグローバルリモート保全サービス高付加価値化を目指し、共同技術検証及びCrosser Technologies AB社のソリューションを導入し新エッジ処理基盤構築を支援

１．TBM（定期保全）からCBM（状態基準保全）へ
　　データに基づきリアルタイムに装置の状態を把握することで、過剰保全を防ぎつつ適切なタイミングでのメンテナンスを実現
２．サービス事業運営の効率化
　　顧客装置データの一元管理を可能とすることで、監視体制を効率化


遠隔予知保全システム全体像


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NSSOLは、これまで培ってきた現場IoT及びAI/機械学習に関する知見を活用し、機械学習や可視化に関するコンサルティングから始まり、システム化の構想支援と実現性検証を経て、実運用ベースでリモート管理可能なリアルタイム予知保全の実現に向けたシステムの構築・検証を支援しました。


NSSOL支援内容


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今後もNSSOLは、エッジ処理基盤の導入を通じて東京エレクトロンのリモートメンテナンスサービスの価値向上、企業価値の向上を支援していくとともに、「Social Value Producer with Digital」をビジョンに掲げ、アプリケーション・基盤・通信を含めたトータルDXソリューションを提供し、日本のインダストリー4.0の実現に貢献していきます。
以上

TELeMetrics™とは
TELeMetrics™は半導体製造装置に搭載したセンサーなどを使い、インターネット経由で顧客先の装置の稼動状況をリアルタイムで監視するサービスであり、さまざまなデータを分析して部品交換や保守が必要な時期などを予測し、稼動率の向上や保守管理の効率化につなげています。

Crosser Technologies AB社のエッジソリューションの特長と提供機能
本ソリューションは現場のデータを効率的に収集するエッジ処理基盤として、下記の特長を持っており、製造業のIT-OT連携とデータ利活用を支援します。

リアルタイム分析とワークフローの自動化： 製造現場で発生するデータの即時解析、変換、連携を可能にし、即時処理による自動化を実現します。
ローコード開発： ドラッグ＆ドロップと設定によるローコード開発を提供し、IT-OTのコラボレーションを促進します。
エンタープライズグレードの機能とサポート：大量のストリーミングデータ（IoT）処理、レガシーシステムと最新システムの統合、オンプレミスデータとクラウドデータの混合など、エンタープライズレベルの要求に応える機能とサポートを提供します。
中央管理とオーケストレーション：多数のノードにわたるユースケースを一元管理し、各ローカル環境にフローを適用させます。