イーヴィグループとパナソニック:プラズマダイシング工程におけるレジスト塗布ソリューションを提供
MotorFan / 2019年3月13日 18時45分
イーヴィグループ(EVG)とパナソニック スマートファクトリーソリューションズ(PSFS)は、今後成長が期待されるIoT向けセンサー・MEMS・RFID・CMOSイメージセンサーおよび薄型メモリー向けに開発されたプラズマダイシング工法において、両社で連携を図り、その前工程に当たるレジスト塗布工程で新しいソリューションの提供を2019年3月13日より開始する。
プラズマダイシング工法は、センサー・MEMS・RFIDなど小チップにおいて、ウエハー全面の一括高速加工を可能とし、CMOSイメージセンサーでは切削粉が出ないことによる高歩留まり、メモリーではウエハー薄化に対してもダメージフリーで高品質を実現するといった特長がある。
プラズマダイシング工法の前工程においては、ウエハー表面にマスクとなるレジストを数十μ mの厚膜で塗布し、ダイシング部をレーザーやフォトリソでパターニングする。しかしながら、この工程では、多層の配線構造を持つウエハー表面に5μ m程度の段差があり、さらに電極部にはバンプを持つウエハーが多いため、プラズマダイシング用レジストを均一な厚膜で塗布できないといった課題があった。
この課題を解決するため、EVGは塗布装置EVG100シリーズにおいて、独自のOmniSpray技術によりプラズマダイシング向けにウエハー表面の段差構造に依存しない均一な塗布方法を開発し、従来の技術では困難であったバンプ付きウエハーに均一な厚膜でレジストを塗布することが可能となった。 さらにPSFSは、大阪府門真市にあるプラズマダイシング実証センターにEVG100シリーズを導入し、レジストをバンプ付きウエハー表面に塗布・パターニングした後、PSFS製プラズマダイサーAPX300ダイサーモジュールで高速・高品質にダイシングするソリューションを開発した。
EVGとPSFSは、プラズマダイシング実証センターにおける実証を通して、この新しいレジスト塗布ソリューションの提供を開始し、顧客のダイシング品質、生産性向上などへの貢献を目指していく。
外部リンク
この記事に関連するニュース
-
「CEATEC 2024 -TOWARD SOCIETY 5.0-」パナソニック インダストリーブースの展示概要と見どころ
PR TIMES / 2024年9月19日 16時15分
-
【ライブ配信セミナー】ウェットコーティング・単層、重層塗布方式の基礎とダイ膜厚分布・特許・塗布故障 10月11日(金)開催 主催:(株)シーエムシー・リサーチ
PR TIMES / 2024年9月12日 10時45分
-
パナソニックがEV向け最新蓄電池を量産へ - 和歌山工場もリニューアル
マイナビニュース / 2024年9月10日 6時47分
-
パナソニック、超小型衛星に搭載した車載カメラで撮影した地球/宇宙の画像を公開
マイナビニュース / 2024年9月2日 22時13分
-
E&R、SEMICON Taiwan 2024でガラス基板と先進技術を展示
共同通信PRワイヤー / 2024年8月27日 10時2分
ランキング
-
1効果的な腸活には「野菜よりお米」が欠かせない 日本人の遺伝子はご飯を食べるのに適している
東洋経済オンライン / 2024年9月21日 19時0分
-
2朝コレを飲んでブランチをとると「長寿遺伝子」が活性化する…簡単にできる「プチ断食」のやり方
プレジデントオンライン / 2024年9月21日 15時15分
-
3ペーパードライバーの “迷惑運転行為”に、走行距離30万km超のゴールド免許所持者が怒りの告発
日刊SPA! / 2024年9月15日 15時52分
-
4「赤ちゃん」の場面どうすんの? 実写化に賛否入り混じる話題作たち
マグミクス / 2024年9月21日 20時25分
-
5「絶対に無理」「何か菌がついているのでは」 学校や病院の「共用スリッパ」にSNSで“拒否反応”続出
オトナンサー / 2024年9月21日 22時10分
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
エラーが発生しました
ページを再読み込みして
ください