イーヴィグループとパナソニック:プラズマダイシング工程におけるレジスト塗布ソリューションを提供
MotorFan / 2019年3月13日 18時45分
イーヴィグループ(EVG)とパナソニック スマートファクトリーソリューションズ(PSFS)は、今後成長が期待されるIoT向けセンサー・MEMS・RFID・CMOSイメージセンサーおよび薄型メモリー向けに開発されたプラズマダイシング工法において、両社で連携を図り、その前工程に当たるレジスト塗布工程で新しいソリューションの提供を2019年3月13日より開始する。
プラズマダイシング工法は、センサー・MEMS・RFIDなど小チップにおいて、ウエハー全面の一括高速加工を可能とし、CMOSイメージセンサーでは切削粉が出ないことによる高歩留まり、メモリーではウエハー薄化に対してもダメージフリーで高品質を実現するといった特長がある。
プラズマダイシング工法の前工程においては、ウエハー表面にマスクとなるレジストを数十μ mの厚膜で塗布し、ダイシング部をレーザーやフォトリソでパターニングする。しかしながら、この工程では、多層の配線構造を持つウエハー表面に5μ m程度の段差があり、さらに電極部にはバンプを持つウエハーが多いため、プラズマダイシング用レジストを均一な厚膜で塗布できないといった課題があった。
この課題を解決するため、EVGは塗布装置EVG100シリーズにおいて、独自のOmniSpray技術によりプラズマダイシング向けにウエハー表面の段差構造に依存しない均一な塗布方法を開発し、従来の技術では困難であったバンプ付きウエハーに均一な厚膜でレジストを塗布することが可能となった。 さらにPSFSは、大阪府門真市にあるプラズマダイシング実証センターにEVG100シリーズを導入し、レジストをバンプ付きウエハー表面に塗布・パターニングした後、PSFS製プラズマダイサーAPX300ダイサーモジュールで高速・高品質にダイシングするソリューションを開発した。
EVGとPSFSは、プラズマダイシング実証センターにおける実証を通して、この新しいレジスト塗布ソリューションの提供を開始し、顧客のダイシング品質、生産性向上などへの貢献を目指していく。
外部リンク
この記事に関連するニュース
-
AIの可能性を再定義するHBM、その構造を理解する
マイナビニュース / 2024年5月10日 7時20分
-
VLSIシンポジウム2024プレビュー 第4回 次世代技術となる高密度2.5D実装や次世代3Dトランジスタ積層を目指す研究
マイナビニュース / 2024年5月10日 6時31分
-
5月27日(月) AndTech「半導体製造工程におけるダイシング技術および各種製造プロセスにおけるテープ、粘着剤、フィルムの開発動向」WEBオンライン Zoomセミナー講座を開講予定
PR TIMES / 2024年4月26日 14時15分
-
5月22日(水) AndTech WEBオンライン「高品質の高機能フィルムを製造するために必要な、製膜・延伸技術と塗布・ラミネート技術および各種欠陥問題への対策事例」Zoomセミナー講座を開講予定
PR TIMES / 2024年4月19日 17時40分
-
理研、全塗布プロセスの有機光電子デバイスで「超薄型光脈波センサ」を実現
マイナビニュース / 2024年4月13日 8時15分
ランキング
-
1元銀行員が語る!損しない「ATM」の利用方法
オールアバウト / 2024年5月11日 21時40分
-
2「スバ川立」「ターャジス」… 救急車はもはや何かの暗号? なぜ“読みにくい”のか
乗りものニュース / 2024年5月11日 14時12分
-
3男性の7人に1人「尿路結石」一度かかると厄介な訳 体外に自然に出る結石の大きさは「5mm以下」
東洋経済オンライン / 2024年5月12日 7時0分
-
4月収50万円のサラリーマンが“月2000万円稼ぐ”までにやった「たった2つのこと」
日刊SPA! / 2024年5月12日 8時53分
-
5“激安焼肉食べ放題店”の元店員が暴露。「客に“得させないようにする”3つのワナ」
日刊SPA! / 2024年5月8日 15時54分
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
エラーが発生しました
ページを再読み込みして
ください