imecとASMLがオランダで高NA EUVリソグラフィラボを開設、2025年以降の実用化へ弾み
マイナビニュース / 2024年6月7日 6時30分
imecとASMLは6月3日(欧州時間)、ASMLの本社があるオランダのフェルトホーフェンに共同で運営する「High NA EUV Lithography Lab」を開設したことを発表した。
同ラボは、最先端のロジックおよびメモリメーカーならびに先端料および製造装置メーカーに、プロトタイプの高NA(NA=0.55) EUV露光装置(TWINSCAN EXE:5000)と周辺プロセス処理および計測ツールへのアクセスを提供するもので、2025年から2026年にかけて予定されている高NA EUV露光装置を用いた半導体の量産準備として重要な節目となるとしている。
同ラボの開設に向けた整備は2018年より開始され、これまでの間にASMLとZEISSは、光源、光学系、レンズのアナモルフィック性、スティッチング、焦点深度の低減、エッジ配置エラー、オーバーレイ精度に関連する高NA EUV露光装置固有のソリューションを開発したとするほか、imecの方では、広範なサプライヤネットワークと緊密に協力して、高度なレジストと下層材料、フォトマスク、計測および検査技術、(アナモルフィック)イメージング戦略、光近接効果補正(OPC)、統合パターニングおよびエッチング技術の開発を含むパターニングエコシステムの準備が進められてきたという。これらの取り組みの結果、最近になって初めての高NA EUV露光が行われ、金属酸化物レジスト(MOR)に印刷された10nmの高密度ライン(20nmピッチ)が公開された。
imecの社長兼CEOであるLuc Van den hove氏は、「高NA EUVは光リソグラフィの次のマイルストーンであり、1回露光で20nmピッチのメタルライン/スペースのパターン形成が可能になり、これにより既存のマルチパターニングによるNA=0.33 EUV露光と比較して、歩留まりが向上し、サイクルタイムが短縮され、CO2排出量も削減されることとなり、ムーアの法則をオングストロームの時代まで押し進める重要な要因となる。同ラボで、プロトタイプの高NA EUV露光装置を使用して、これらの機能を実際に調査できることに興奮している。imecとそのパートナーにとって、同ラボはimecの300mmクリーンルームの仮想拡張として機能し、パターン形成エコシステムの改善を可能とする」と述べている。
なお、TWINSCAN EXE:5000の商用1号機は同ラボに先駆けて2023年末に、Intelの米オレゴン州の拠点に納入され、今年4月に組み立てを完了している。Intelは、同ラボの装置も併用していく形で、高NA EUVによる2nm以降のプロセスの量産適用1番乗りを目指す動きを見せているが、先端プロセスで先行するTSMCは、高NA EUVを急いで量産適用せずに、技術の成熟度を見極めるとしている。
(服部毅)
外部リンク
この記事に関連するニュース
-
07月31日(水) AndTech「EUVリソグラフィにおける最新微細化動向とフォトマスクを中心とした課題・欠陥低減技術~マスク・ペリクル・欠陥検査技術・ブランクス~」 Zoomセミナー講座を開講予定
PR TIMES / 2024年6月27日 13時40分
-
imecがロジック向け微細化ロードマップを更新、ASMLが超高NAのEUV装置の開発を開始
マイナビニュース / 2024年6月25日 14時51分
-
7月12日(金) AndTech「誘導自己組織化によるブロック共重合体の微細パターン形成と高性能・低コストな半導体微細加工を目指した次世代リソグラフィ技術」WEBオンライン Zoomセミナーを開講予定
PR TIMES / 2024年6月19日 13時40分
-
EV Groupとフラウンホーファー IZM-ASSID が量子コンピューティング アプリケーション向けウェーハ接合における提携を拡大
PR TIMES / 2024年6月19日 12時15分
-
TSMCトップらが5月下旬にASML本社を訪問、高NA EUV導入に向けた協議を実施か?
マイナビニュース / 2024年6月13日 9時8分
ランキング
-
12億画素カメラと120W充電対応で6万円以下! さらに高コスパ化したシャオミ「Redmi Note 13 Pro+ 5G」
ASCII.jp / 2024年6月29日 12時0分
-
2早く歩けよ!ゲーマーに嫌われがちなNPC護衛/尾行ミッション…海外ゲーマーの恨みが募る
Game*Spark / 2024年6月28日 12時30分
-
3お風呂が超苦手な柴犬の“逆襲”に家族が大パニック! 爆笑の展開に「やることが大胆」「腹の底から笑った」
ねとらぼ / 2024年6月28日 8時30分
-
4高評価ファンタジー農場シム『Sun Haven』、最新アップデートで有志翻訳を削除。代替の機械翻訳に多数の困惑の声
Game*Spark / 2024年6月28日 11時17分
-
5「スト6ですか?」 “餃子の王将の価格改定”が「格ゲーの調整みたい」と話題に…… 「全体的にアッパー調整」
ねとらぼ / 2024年6月28日 12時0分
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
![](/pc/img/mission/mission_close_icon.png)
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
![](/pc/img/mission/point-loading.png)
エラーが発生しました
ページを再読み込みして
ください
![](/pc/img/mission/mission_close_icon.png)