米国政府、CHIPS法に基づきEntegrisのコロラド工場建設に最大7500万ドルの支給を決定

さらに、Entegrisによれば、持続可能性を重視した施設の建設と運営が求められており、温室効果ガスの排出量削減ならびに水の回収・リサイクル度合いの向上などが図られる予定だという。

なお、Entegrisは、日本の米沢市に2工場、中国や韓国、台湾、欧州なども工場を有しており、分担して製品の製造を行っているが、米国の国家安全保障確保のためのサプライチェーン強靭化に向けて、商務省は補助金支給と引き換えに、今後は米国本土でFOUPを含む全製品の製造を要求している模様で、米国メディアの報道によると、米国政府は、Entegrisに対して数百万ドル相当の先端半導体製造用部材のSMICへの輸出を差し止めを求めており、今後、Entegrisの先端部材の中国への輸出が厳しくなることが予想される。

CHIPS法に基づく米国政府からの補助金支給が続々と決まっていることもあり、予定総額が埋まってきていることもあり、少額の投資決定が続いている状況となっており、NSTC(米国国立半導体技術センター)への資金提供もまだ行われていない。
（服部毅）