日立ハイテクと台湾大が電子顕微鏡共用施設を開設、半導体の研究開発加速へ

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日立ハイテクは7月25日、台湾の国立大学「台湾大学」内にFIB-SEMの活用を促進する「Advanced Application Innovation Center for Focused Ion Beam System」を共同で開設したことを発表した。

同センターは、半導体をはじめとした先端材料およびグリーン材料の設計や研究開発を主な目的としたもので、日立ハイテクのFIB-SEM(集束イオンビーム走査電子顕微鏡)を、台湾大の関係者を中心に幅広いユーザーが活用できる施設として運営される。

実際の運営に際しては、日立ハイテクでは装置の維持・管理やアプリケーション面などをサポートする体制を構築することでスムーズな運営を支えていくとしているほか、今後はFIB-SEMを通じた技術情報の発信など、さらなる同センターの活用も目指していくとのこと。

また日立ハイテクでは、同センターを台湾大と共同で運営していくことで、産学連携の強化、技術革新力の強化、科学技術分野における将来の人財育成プラットフォームの提供などにつなげることも期待できるようになり、そうした取り組みを通じて台湾の科学技術の発展と経済の繁栄にも貢献していきたいとする。

なお同社は今後も、自社の強みである「解析・分析」というコア技術を磨きあげ、幅広い分野における研究開発、品質管理業務を支える専用計測・検査ソリューションを提供していきたいとしている。
（上定真子）