高感度ひずみセンサとして利用可能な半導体薄膜、東北大が開発

これらの結果は、アモルファスCrGT薄膜のき裂の発生・開閉を利用することで、既存材料の限界を超えた、巨大かつ可逆的な抵抗変化を実現できることを示すものであると研究チームでは説明しているほか、今回の研究では、ポリイミド上にアモルファスCrGT薄膜を配置した簡単なひずみセンサーを提案し、動脈の脈波を明瞭に検出できることを実証するなど、健康モニタリングシステムへの応用可能性も示したとする。

なお、アモルファスCrGT薄膜は一般的なスパッタリング法で成膜でき、高温熱処理を必要としないため、さまざまな柔軟な基板への適用が可能と研究チームでは説明しているほか、今回の成果については、脆性薄膜と柔軟な弾性基板の組み合わせによるひずみセンサを提供するものであり、単純なデバイス構造ながら超高感度を実現できることから、健康診断システムをはじめとする多様なセンサへの応用が期待されるとしており、今後、アモルファスCrGT薄膜に発生するき裂の定量評価や耐久性を検証するとともに、CrGT以外の脆性半導体薄膜における圧抵抗効果にも焦点を当て研究を進めていきたいとしている。
（波留久泉）