スミックス社と東京エレクトロンデバイス、薄膜ムラ自動検出アルゴリズムの共同開発で合意

成膜工程における欠陥検出の自動化と高精度化を実現

東京エレクトロン デバイス株式会社（本社：横浜市神奈川区、代表取締役社長：徳重 敦之　以下、TED）は、スミックス株式会社（本社：相模原市中央区、代表取締役社長：宇田　満、以下スミックス社）と液晶パネルなどの成膜工程で発生する薄膜ムラの自動検出アルゴリズムの共同開発に合意したことを発表します。薄膜ムラに対する画期的な検出アルゴリズムを搭載したマクロ検査モジュールを両社で開発し、今秋を目処にリリースします。

今回の協業により提供されるマクロ検査モジュールは、従来の目視検査や顕微鏡を使ったミクロ検査と比べ、短時間で高精度な検査結果が得られ、液晶パネルなどの成膜工程での製造品質、検査精度を飛躍的に向上させます。

スミックス社はマクロ光学検査のパイオニアで関連特許を4件取得、長年蓄積されたノウハウにより、検査対象物ごとに欠陥の検出条件を最適化する技術力を持っています。TEDは、産業機器を中心とする幅広い分野に、回路・基板設計からシステムレベルの設計、量産受託サービスにおよぶトータルサポートをinrevium（インレビアム）ブランドで提供しており、経験豊富な開発力と幅広い販売網を有しています。両社はこの実績とノウハウを生かし、従来のミクロ検査とは異なる画期的な検出アルゴリズムを搭載したマクロ検査モジュールを市場投入することで、生産ラインにおける製造品質ならびに検査精度の向上に積極的に貢献してまいります。

東京エレクトロン デバイス株式会社　取締役 執行役員 初見泰男は、次のように述べています。「今回のスミックス社との技術提携を大変喜ばしく思っております。スミックス社の持つマクロ光学検査技術と、弊社の持つソフトウェア開発技術とを融合し、製造装置メーカー様、検査装置メーカー様に受け入れられる検査モジュール提供を目指してまいります。」


東京エレクトロン デバイス株式会社について
東京エレクトロンデバイスは、半導体製品やITソリューション等を提供する「商社機能」と、お客様の設計受託や自社ブランド商品の開発を行う「メーカー機能」を有する技術商社です。
URL：http://www.teldevice.co.jp/

スミックス株式会社について
マクロ光学検査の有用性と可能性を半導体・液晶・ナノインプリント・その他各検査市場に提案し、 検査工程の効率化を通して社会に貢献することを目的とし2009年創業しました同社のマクロ光学検査を導入する事で、より効率的にコスト競争力のある検査工程が確立できます。また、工程の品質維持管理に寄与するだけでなく、出荷製品のトレーサビリティを保証する事が可能となります。そのコアとなる技術（OAS Technology）は、散乱光を利用したマクロ光学検査に特化した独自光学系を採用しています。
URL：http://smics-jp.com/


inrevium(インレビアム)　について
東京エレクトロンデバイスは、1985年に開設した設計開発センターの豊富な設計開発経験を活かして、お客様の要求に基づくデザインサービス（設計受託業務）と、市場のニーズを先取りした自社開発商品を、”inrevium（インレビアム）”ブランドで提供する開発ビジネスに注力しています。今後も高付加価値の開発ビジネスに取り組んでいく予定です。
inrevium専用サイトURL：http://www.inrevium.jp/

＜本件に関する報道関係からのお問合せ先＞
東京エレクトロン デバイス株式会社　管理本部　広報・IR室　堀田・福井
Tel：[phone]、Fax：[phone]
お問い合わせフォーム：http://www.teldevice.co.jp/contact/news_release/index.html

＜本件に関するお客様からのお問合せ先＞
東京エレクトロン デバイス株式会社
インレビアムカンパニー　プライベートブランド部　藤田
Tel：[phone]、Fax：[phone]
お問い合わせフォーム：http://www.inrevium.jp/contact.html

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