世界初のナノインプリント向け量産用マスクレプリカ製造装置を製品化“FPA-1100NR2”をマスクのリーディングサプライヤーに納入
PR TIMES / 2017年2月23日 13時47分
キヤノンは、世界で初めて、ナノインプリント技術を用いた半導体製造装置用のマスクを低コストで複製する、量産用マスクレプリカ製造装置“FPA-1100NR2”を製品化し、ナノインプリント用マスクのリーディングサプライヤーであるDNP(大日本印刷)グループに納入します。
[画像: https://prtimes.jp/i/13980/184/resize/d13980-184-118611-0.jpg ]
半導体デバイスの進化の鍵となる回路パターンの微細化が難しくなる中、光露光装置(※1)に比べ、より微細な10nm(※2)台の回路パターンを、より低コストで実現する新しい技術として、ナノインプリント技術に注目が集まっています。キヤノンは2004年より、ナノインプリント技術を用いた半導体製造装置の研究開発を続けています。
ナノインプリント技術による半導体デバイスの量産においては、マスクの製造コストやリードタイムが課題とされてきました。この要因としては、一般的に半導体デバイス製造用のマスクは、電子ビームを用いた微細パターンの直接描画により作成され、この描画工程にコストと時間を要することなどが挙げられます。そこでキヤノンは、半導体デバイス量産時の回路パターン形成において、高価なマスターマスクに比べ安価なレプリカマスクを使用することで、この課題を克服しようとしています。
キヤノンは、世界初のナノインプリント向け量産用マスクレプリカ製造装置“FPA-1100NR2”を製品化し、ナノインプリント用マスクのリーディングサプライヤーであるDNP(大日本印刷)グループに納入します。
“FPA-1100NR2”は、ナノインプリント技術を応用することにより、高価なマスターマスクのパターンを忠実かつ短時間にマスク部材に転写することができ、高い生産性でレプリカマスクを製作することが可能です。これにより、ナノインプリント用マスクサプライヤーの生産現場において、マスクの生産性を飛躍的に向上させ、ナノインプリント技術を用いた半導体デバイスの製造コストを大幅に削減することで、先端リソグラフィプロセスにおけるCoO(※3)低減を実現します。
なお、2017年2月26日から3月2日まで、米国カリフォルニア州サンノゼで開催される半導体リソグラフィ国際会議(SPIE Advanced Lithography 2017)において、キヤノンはナノインプリント技術ならびにナノインプリント装置の開発進捗について講演を行う予定です。
※1 大口径のレンズを搭載し、レーザー光を照射することで回路パターンをウエハー上に転写する半導体製造装置。
※2 1nm(ナノメートル)は、10億分の1メートル
※3 Cost of Ownershipの略。半導体製造に関する設備投資や運用に必要なコスト。半導体メーカーの量産ラインにおける工程や製造装置の生産性を示す指標。
企業プレスリリース詳細へ
PR TIMESトップへ
この記事に関連するニュース
-
日本の製造業をダメにしたのは経産省である…日本の半導体産業が世界で再び勝つために必要なこと
プレジデントオンライン / 2024年9月4日 9時15分
-
産総研とEUV研究で連携、前工程から後工程まで半導体技術開発で日本との関係性強化を図るIntel
マイナビニュース / 2024年9月3日 18時46分
-
耐光性に優れた高屈折率ナノインプリント樹脂を開発
PR TIMES / 2024年8月31日 10時15分
-
09月09日(月) AndTech WEBオンライン「半導体レジスト・リソグラフィ入門講座」Zoomセミナー講座を開講予定
PR TIMES / 2024年8月29日 10時15分
-
東工大とTOK、自己組織化で線幅7.6nmの回路を形成できる高分子ブロック共重合体を開発
マイナビニュース / 2024年8月23日 6時53分
ランキング
-
1ゆうちょ顧客情報を不正流用 日本郵便、かんぽの保険営業に
共同通信 / 2024年9月21日 18時30分
-
2「佐渡島の金山」世界遺産登録、経済効果585億円…政投銀が3年前の試算を上方修正
読売新聞 / 2024年9月21日 17時22分
-
3PAULの「3080円・高級モーニング」超正直な感想 フランス発ベーカリー・カフェチェーンの実力は?
東洋経済オンライン / 2024年9月21日 8時0分
-
4「うどんみたいな布団」が突如爆売れ、Xで16万いいね 「売れたらラッキーくらいに思ってた」と担当者
ITmedia ビジネスオンライン / 2024年9月21日 7時40分
-
5渋谷・おしゃれ飲食街の「インフレ」が進む"裏事情" 立ち飲みのワイン1杯1200円も躊躇なく飲む若者たち
東洋経済オンライン / 2024年9月21日 9時0分
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
エラーが発生しました
ページを再読み込みして
ください