ヨーロッパにおける次世代光学MEMSの研究を主導

2013年に始まった次世代アプリケーションを可能にする技術研究プロジェクトを拡張

多種多様な電子機器に半導体を提供する世界的半導体メーカーのSTマイクロエレクトロニクス（NYSE:STM、以下ST）は、Lab4MEMSプロジェクト（2013年4月発表）の継続的な成功をベースにした拡張プロジェクト「Lab4MEMS II」を主導することを発表しました。当初は、圧電・磁気材料に加え、3次元実装などの先進技術で進化する次世代MEMSデバイス用パイロット・ラインの開発に重点を置いてきましたが、Lab4MEMS IIでは、MEMS（1）とマイクロ光学を融合させた、超小型光学電子機械システム（MOEMS）の研究に取り組みます。このシステムは、機械・光学・電気システムを組み合わせ、光信号の検出・制御を行います。Lab4MEMS IIは、既存プロジェクトと同様に、ナノエレクトロニクス分野における官民パートナーシップであるENIAC JU（European Nanoelectronics Initiative Advisory Council Joint Undertaking）によって開始されました。

Lab4MEMS IIは、ヨーロッパ9ヵ国の企業・学術機関・研究機関（20団体）で構成される2600万ユーロ規模（3000万ドル）のプロジェクトです。STは、Lab4MEMSで確立された基盤と成功をベースにしたこの拡張プロジェクトでコーディネーターを務めています。同プロジェクトは、製造・技術・組織の優位性を提供し、高い潜在性を持つMOEMSにおけるヨーロッパのリーダーシップの確保に貢献します。

約1000件のMEMS関連特許、80億個以上のMEMSデバイスの出荷実績、さらには1日当たり400万個超の自社生産能力を有するSTは、ヨーロッパのMEMS研究イニシアティブにおいて、理想的なリーダーです。Lab4MEMS IIは、小型かつ先進的な光学システムの実現に向け、マイクロ光学技術と標準的な微細加工技術を応用したさまざまなデバイス（光スイッチ、マイクロミラー、光クロスコネクト、レーザー、およびマイクロレンズなど）の設計・製造・テストに焦点を当てています。MOEMSは、マイクロ・プロジェクタ、レーザー・マイクロスキャナ、次世代ヒューマン・インタフェースおよびマイクロ分光器に有用な光スイッチ、マイクロミラー・デバイス、ダイナミック・ディスプレイ、双安定デバイスおよび光学シャッターなどの将来的価値の高い製品に最適なプラットフォームです。このプロジェクトの目的の一つは、1軸デュアルミラーの生産最適化ならびに2軸シングルミラーの開発の可能性を研究することです。

Lab4MEMSは、社会に重要な影響を与える技術およびアプリケーション分野の開発を目指すENIAC JUが契約したKey Enabling Technologies（KET）パイロット・ライン・プロジェクトの1つです。STの研究開発部門 ヨーロッパ・プログラム・マネージャであるRoberto Zafalonは、次の様にコメントしています。「ENIAC JUの研究指針は、人々の生活の質を向上させるというSTの価値観およびコミットメントと完全に一致しています。MOEMSは、社会、コンソーシアム・メンバー、ENIAC加盟国を含むステークホルダーにメリットを提供し、長期的な繁栄や社会に貢献する重要な光学システムの小型化につながる将来性のある多機能技術です。」

Lab4MEMS IIのパイロット・ラインは、STの200 mmウェハ製造設備（イタリア、アグラテ工場）を拡張すると同時に、光学技術を追加する予定です。また、戦略的技術の実用化に向けたノウハウを強化すると共に、科学的技術とシリコン上に作製されるスマートマイクロ / ナノシステムの幅広い設計・製造能力を組み合わせます。さらに、プロジェクトでは、300 mmウェハへ移行した場合の潜在的利益とその影響について評価します。

ENIAC JUは、ENIAC加盟国、欧州連合、AENEAS（Association for European Nanoelectronics Activities）を含む官民パートナーシップで、現在、各種研究開発プロジェクトに約18億ユーロを提供しています。応募されたプロジェクト案は評価プロセスを通じて選考されます。STが、コーディネートするLab4MEMS IIは、2013年秋に選出され、2014年11月から作業が開始されています。

Lab4MEMSにはSTの他、the Politecnico di Torino and di Milano、Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica、CNR-IMM MDM、Commissariat Al Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives、ARKEMA SA、University of Malta、Okmetic Oyj、MURATA Electronics、VTT Memsfab Ltd、Teknologian tutkimuskeskus VTT、Aalto University、KLA-Tencor ICOS、University POLITEHNICA of Bucharest - CSSNT、Instytut Technologii Elektronowej、Warsaw、Stiftelsen SINTEF、Polewall AS、Besi Austria GmbHが参加しています。

(1)　 MEMS = Micro-Electro-Mechanical Systems

STマイクロエレクトロニクスについて
STは、「センス & パワー、オートモーティブ製品」と「エンベデッド・プロセッシング　ソリューション」の多種多様なアプリケーションに半導体を提供する世界的な総合半導体メーカーです。エネルギー管理・省電力からデータ・セキュリティ、医療・ヘルスケアからスマート・コンスーマ機器まで、そして、家庭、自動車、オフィスおよび仕事や遊びの中など、人々の暮らしのあらゆるシーンにおいてSTの技術が活躍しています。STは、よりスマートな生活に向けた技術革新を通し、「life.augmented」の実現に取り組んでいます。2014年の売上は74.0億ドルでした。さらに詳しい情報はSTのウェブサイト（ http://www.st-japan.co.jp ）をご覧ください。

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