浜松ホトニクス、マイクロLED検査装置を発売
LIMO / 2021年3月18日 20時5分
![浜松ホトニクス、マイクロLED検査装置を発売](https://media.image.infoseek.co.jp/isnews/photos/toushin1/toushin1_22518_0-small.jpg)
浜松ホトニクス、マイクロLED検査装置を発売
外観、輝度、発光波長の異常を高速全数検査
浜松ホトニクス㈱は、ウエハー上のマイクロLEDの外観、輝度、発光波長の異常を高速で検査できる「MiNY(マイニー)PL マイクロLED PL検査装置 C15740-01」を開発した。この新製品によって、ディスプレー用途に向けて良品率の向上が進められているマイクロLEDの良否を短時間で判定し、研究開発の効率を高めることができる。また、将来の量産ラインで効率的な全数検査が可能になると期待できる。価格は税別1億円。年間で初年度に5台、3年後に10台の販売を目標とする。
マイクロLEDは小さすぎて検査が難しい
マイクロLEDとは、1辺が100μm以下のLEDチップを指す。これを精密に並べて画素として用いるディスプレーを「マイクロLEDディスプレー」と呼び、液晶や有機ELなどに次ぐ次世代ディスプレー技術として期待されている。マイクロLEDディスプレーは、液晶や有機ELに比べて高輝度、低消費電力、長寿命であり、今後の市場拡大が見込まれており、研究開発が進められている。
通常のLEDは、ウエハー1枚の上に数万個が形成され、チップの1辺が300~350μmであるため、可視光の画像による外観検査に加え、LED 1つ1つに針を当てて通電し、光らせて発光特性を検査するエレクトロルミネッセンス(EL)検査を実施している。だが、マイクロLEDはウエハー1枚に数百万個も形成され、1辺が100μm以下ときわめて小さいため、EL検査による全数検査は現実的ではなかった。
可視光とPLで全数検査
こうした状況に対応するため、新製品は可視光とフォトルミネッセンス(PL)による2種類の画像から、ウエハー上のマイクロLEDの外観、輝度、発光波長の異常を高速で検査する。マイクロLEDが形成された直径約150mmのウエハーをセットし、可視光像からマイクロLEDの欠けや傷などの外観情報を取得する。その後、PLによる画像から輝度と発光波長の情報を取得し、これらを組み合わせて解析して良品と不良品を判定する。
独自の光学設計技術で開発した光学部品を用いるとともにカメラの構成を工夫し、ウエハー全面に形成されたマイクロLEDの輝度のみならず、発光波長も分光器を用いることなくPL像から同時に取得できるイメージングモジュールを開発した。また、照射面に対して強さが均一で安定した光をマイクロLEDに照射しPL像を取得するため、信頼性の高い計測結果を得ることができる。
主な仕様は、▽対応ウエハーサイズ=6インチ(他サイズ応相談)、▽計測時間=約20分(対物レンズ10倍、PL計測、計測エリア100×100mm時)、▽PL計測波長=RGB、▽空間分解能1μm/ピクセル(対物レンズ10倍時)、▽外形寸法2000×1130×1878mm、▽重量1800㎏、▽クリーンルーム対応可。
外部リンク
この記事に関連するニュース
-
大産大など、シリコン太陽電池の変換効率を向上させるナノドット構造を開発
マイナビニュース / 2024年7月12日 16時29分
-
【大阪産業大学】草場教授研究室の研究グループが英国の物理学会誌「Journal of Physics D: Applied Physics」にオンライン公開されました
Digital PR Platform / 2024年7月11日 14時5分
-
ポリエステル衣類の放射線照射発光を発見、陽子線ビームの画像化にも成功
共同通信PRワイヤー / 2024年7月3日 11時0分
-
大阪公大、光渦レーザーで磁性微粒子を高精度に印刷する技術を開発
マイナビニュース / 2024年7月2日 17時38分
-
ディスプレイ国際会議「SID/Display Week 2024」 第2回 ARグラスにおける究極のエンジンを目指す有機半導体レーザー
マイナビニュース / 2024年6月26日 12時38分
ランキング
-
1投資信託「以外」のほったらかし投資の選択肢とは 年利10%ならおよそ「7年で資産が倍」になる
東洋経済オンライン / 2024年7月21日 9時0分
-
2コメが品薄、価格が高騰 米穀店や飲食店直撃「ここまでとは」
産経ニュース / 2024年7月21日 17時41分
-
3サーティワン、大幅増益 「よくばりフェス」や出店増が奏功
ITmedia ビジネスオンライン / 2024年7月19日 18時48分
-
4ウィンドウズ障害、便乗したフィッシング詐欺のリスク高まる…復旧名目に偽メール・偽ホームページ
読売新聞 / 2024年7月22日 0時0分
-
5物言う投資家エリオット、スタバ株を大量取得=関係筋
ロイター / 2024年7月20日 5時59分
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
![](/pc/img/mission/mission_close_icon.png)
記事ミッション中・・・
記事にリアクションする
![](/pc/img/mission/point-loading.png)
エラーが発生しました
ページを再読み込みして
ください
![](/pc/img/mission/mission_close_icon.png)