机の上に置ける卓上プラズマエッチング加工装置を開発し、プラズマ加工装置導入のハードルを格段に下げることに成功~電源50W以下&低コストで使用可能で大学をはじめとした研究機関に導入~

@Press / 2014年8月25日 11時30分

卓上プラズマエッチング加工装置
株式会社三友製作所(所在地:茨城県常陸太田市、代表取締役:加藤木 克也)は、独自技術である「マイクロプラズマ技術」と「吸引プラズマ技術」を導入した、世界で初めてとなる卓上タイプのプラズマエッチング加工装置を開発しました。
マイクロプラズマ技術により今までは出来なかった局所へのプラズマエッチング加工を施すことが出来ると共に、吸引プラズマ技術により、加工後の残渣が極めて少ない処置が出来るようになりました。大学をはじめとした研究機関での納入実績から、2014年夏より本格的に販売を行っていく予定です。

URL: http://www.sunyou-ss.co.jp/pls/


■プラズマエッチング加工装置の導入ハードルを格段に下げる
従来のプラズマ加工装置は、大型のものがほとんどで、導入コストも非常に高く、導入のハードルが高いことが難点でした。また、大きな電力量を使用するため、設置・移動には電波法に基づく設置申請が必要でした。
当社のプラズマエッチング加工装置は、独自技術の活用により装置の小型化と低コスト化を実現すると共に、使用電力量を低減させることにより、電波法の設置申請も不要とすることに成功しました。
卓上で手軽に使用できる使用感なども併せ、既存装置よりも導入のハードルを格段に下げることができました。
卓上プラズマエッチング加工装置は、既存のプラズマ加工装置に対し、コスト面で導入が難しいと感じていた企業様や、もっと気軽に使用したいと考えていた企業様に最適な装置です。


■装置概要
装置名:卓上プラズマエッチング加工装置
~主な特長~
・世界唯一のマイクロ(局所)プラズマ技術を導入
・小型装置ならではの低コストでの導入が可能
・電源50W以下で使用可能(電波法の申請不要)
・机の上に置ける卓上サイズ


■装置仕様
サイズ:W 250mm×D 250mm×H 247mm
重量 :真空ポンプ7.5kg+真空チャンバ10kg


■マイクロ(局所)プラズマ加工技術とは
~技術概要~
「マイクロ(局所)プラズマ加工」は、従来のプラズマ加工のような対象物全体にプラズマ加工を施すものではなく、細い石英ガラス管内にプラズマを起すことで、既存のプラズマ加工技術では不可能だった、マイクロレベルでのきめ細かい部分(局所)的にプラズマ加工を施すことができます。

~当技術の特長~
・微小領域へ部分(局所)的に加工が施せる。
・使用する電力量が少ないので少ないワット数で使用が可能。
・加工装置自体が小さなものにできる。

~吸引プラズマ技術~
「吸引プラズマ」とは、真空容器内にエッチングガスを導入後、プラズマガンの石英ガラス管内にエッチングガスを吸引してプラズマを発生させ、石英ガラス管先端から出たプラズマで加工を行う方法です。
また、エッチングガスを吸引しながら加工するため、エッチング時に試料上で発生するプラズマ生成物も吸い込む状態となり、噴射プラズマエッチングよりも加工残渣の削減が可能となります。

~用途例(使用するガスにより様々な機能と用途がございます)~
・高い操作性・機動性により、半導体の故障・不良解析を迅速に行うことが可能。
・表面改質・クリーニング機能を活かし、デバイス組立時のクリーニングや接着剤の均等付着に活用。
・従来装置よりも高い使用感により、デバイスの試作や開発に利用。

~納入実績~
茨城大学、日本大学、千葉工業大学、産業技術総合研究所、某企業研究所


【会社概要】
会社名 :株式会社三友製作所(さんゆうせいさくしょ)
代表者 :代表取締役 加藤木 克也
所在地 :茨城県常陸太田市馬場町457
電話  :0294-72-2245
従業員数:153人
設立  :1946年9月
資本金 :4,500万円

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プレスリリース提供元:@Press

【関連画像】

技術の特長1技術の特長2噴射プラズマの加工残渣

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