東京エレクトロンの半導体製造装置のグローバルリモート保全サービス高付加価値化を目指し、共同技術検証及びCrosser Technologies AB社のソリューションを導入し新エッジ処理基盤構築を支援

プレスリリース

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2024年10月28日

日鉄ソリューションズ株式会社

東京エレクトロンに向け、半導体製造装置のグローバルリモート保全サービス高付加価値化を目指し、共同での技術検証、及びCrosser Technologies AB社のソリューション導入による新エッジ処理基盤の構築を支援

日鉄ソリューションズ株式会社（本社：東京都港区、代表取締役社長：玉置 和彦、以下「NSSOL」）は、東京エレクトロン株式会社（本社：東京都港区、代表取締役社長：河合 利樹、以下「東京エレクトロン」）の製造する半導体製造装置のリモートサポートシステムの高付加価値化に向けて、共同で技術検証を行い、新たに遠隔からの故障予兆検出モニタリングを実現するためのエッジ処理基盤を構築し、その導入を支援いたしました。この基盤には、Crosser Technologies AB社の提供するエッジソリューションを活用しています。

東京エレクトロンは、世界トップクラスの売上高、業界最大の装置出荷台数(約93,000台)を誇る半導体製造装置メーカーであり、グローバルに87の拠点を構えています。(※2024年6月時点)
半導体産業においては、世界的なサプライチェーンが形成されているため、東京エレクトロンは、グローバルに対応可能なリアルタイムでのリモート保全サービス「TELeMetrics™」を世界中の半導体メーカーに提供しています。一方で、自社内の装置をインターネットに接続することへのセキュリティリスクからニーズがありつつも、導入が進められない企業も存在しました。

そうした課題に対し、東京エレクトロンはNSSOLと共同での技術検証を重ね、セキュリティ上の理由で自社の装置データを外部に出せない企業にも「TELeMetrics™」を提供できるようにするために、新たなエッジ処理システム基盤を利用した「遠隔予知保全システム」を構築し、2024年1月より本番環境での検証を開始いたしました。
この遠隔予知保全システムは、顧客側のシステム内部でデータの整形・加工・一次集計処理を行い、集計データのみをクラウドに集約することで、顧客データのセキュリティを担保しつつ設備データを基にした故障の予知保全を実現いたします。また、これにより以下の効果も見込んでいます。