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検査装置のタカノ、9月4日から6日に開催される半導体製造装置・材料の国際展示会「SEMICON Taiwan 2024」に出展

PR TIMES / 2024年8月28日 11時15分

半導体市場向けの欠陥検査装置をはじめ、最新技術をご紹介



[画像1: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-c3eafd743ad16a8ead28ffd6d966d026-1536x1167.png?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
SEMICON Taiwan 2024 展示ブースイメージ

タカノ株式会社(本社:長野県上伊那郡宮田村、代表取締役社長:鷹野 準)は、2024年9月4日(水)~6日(金)に台湾 台北南港展覧館1館・2館(Tainex)で開催される「SEMICON Taiwan 2024」に出展いたします。
今回は、デバイスメーカー、ファウンドリー、装置メーカー、材料メーカーなどを対象に、半導体向け検査装置および外観検査装置を出展いたします。タカノでは、光学からレーザー検査に至るまで、幅広い検査範囲をカバーしております。ぜひ、弊社ブースへお立ち寄りください。

SEMICON Taiwan 2024 開催概要
[画像2: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-2c65fe92a37685db9319c0d1de8dc747-3334x1568.jpg?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
SEMICON Taiwan 2024

開催日程:2024年9月4日(水)~6日(金)
開催時間:10:00~17:00(最終日のみ 16:00まで) (現地時間)
開催場所:台湾 台北南港展覧館1館・2館(Tainex)
     タカノ株式会社 出展ブース番号: P5926

公式HP:https://www.semicontaiwan.org
事前登録で入場料無料となりますので、来場者事前登録サイトよりお申し込みください。

▽来場者事前登録サイトはこちら
https://registration.semicontaiwan.org/visitor/index
出展製品
1. ウェーハ表面検査装置 WMシリーズ
[画像3: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-272c468e711c988ba523a41ffe8d3066-2451x2700.png?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
WM-7SR
[画像4: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-616e79204331c15d7b3d279312beced6-1500x1680.png?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
WM-10R

半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に欠かせない検査システムです。光源には半導体レーザーを使用しており、ランニングコストの軽減になります。
ナノレベルのパーティクル(異物)を検出することが可能で、国内外にて数多く使用していただいております。
新製品WM-10Rは、国際的な安全認証を獲得しており、従来品WM-10と比較して安全性と品質がさらに向上しております。WM-10Rについても本展示会でご紹介いたします。

URL:https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/wm/
2. ウェーハ外観検査装置(Viシリーズ)
ウェーハの配線パターンやクラック、異物混入などを高精度に検査します。ウェーハサイズ・デバイス・欠陥等の種類・検査速度に応じて、5種類のラインナップからご提案できます。

[画像5: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-bee8c113fa7ec1a93950b509373c15ec-473x505.png?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
Vi-4207
[画像6: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-4a849013f9d0deaf7d899e090081f3cb-473x505.png?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
Vi-4307
[画像7: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-c53e71a80df0e76affb2a977c7e868d1-473x505.png?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
Vi-5301

[画像8: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-4c61e878bbf6313db7f0c373beac60bc-1587x797.jpg?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
Viシリーズ 検出欠陥例

URL:https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/pattern/

3.マイクロバンプ検査装置(ALTAX-300EX)
[画像9: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-974c64a4f7603b6f083141ca6c91ad9d-3900x3900.jpg?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
マイクロバンプ検査装置(ALTAX-300EX)

自社製高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプを高速で全数検査できます。
URL:https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/altax-300ex/

4.全面膜ムラ検査装置(Thinspector)
[画像10: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-24e0bed882292adc48a2553670fe37f7-1521x1350.png?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
全面膜ムラ検査装置(Thinspector)

1スキャンでウェーハ全面の膜厚測定、ムラ検査を高速に行い、抜けのない膜厚管理を行うことができます。
URL:https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/thinspector/

5. パッケージ向け全面高さ検査装置 ALTAX
[画像11: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-cd796f63e5e523b8618770c37074185f-3900x2600.jpg?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
パッケージ向け全面高さ検査装置 ALTAX

半導体ウェーハやBGA、CSPなどのパッケージ基板に形成されたバンプの高さ、径およびコプラナリティを新型検査ユニット“Mervel”にて高速かつ高精度に測定します。
独自に改良を重ねた光学系とデータ処理方法(Time Delay Scanning)の採用により、これまでの光切断方式にない高精度測定が可能となりました。

URL:https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/altax/

6.フィルム外観検査装置Hawkeyesシリーズ
[画像12: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-b17416b8ca09330bbaee4f8e1a5159b2-3900x2193.jpg?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
無地高速微細画像検査装置システム Hawkeyes one

Hawkeyesシリーズは高機能フィルム市場(光学、電子部材、電池部材)に対して、自社製のカメラと画像処理ユニット、検査アルゴリズムを採用することで高速かつ高精度な検査を実現します。

自社製高性能カメラと新開発の画像処理ユニットの採用により、業界最速クラス(当社調べ)の検査速度を実現しました。高速な生産ラインでの微細欠陥を検出するための高分解能の設定が可能です。また、複数処理を並列化し、多彩な欠陥検出も行えます。
URL:https://www.takano-kensa.com/kensa/products/film/one/

[画像13: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/49013/73/49013-73-d90d42b5d1f6819855c7605d934118eb-2508x1672.jpg?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
SEMICON Taiwan 2023 昨年の様子

タカノについて
「製造業から『創造業』へ」
ばねの製造に始まり、オフィス家具、エクステリア製品へ。そして先進のエレクトロニクス製品、さらには医療・福祉関連製品、臨床検査薬へとタカノは次々に新分野への参入を実現し、常に新しい製品の開発にチャレンジしてきました。この展開力こそがタカノの特色であり、発展の源です。
「常に高い志を持ち、社会のルールを守り、世の中の変化を見すえ、持続的成長・発展を通じ、豊かな社会の実現に貢献する」という経営基本理念にのっとり、これからもあらゆる角度から可能性を追求し、未踏の領域に挑戦していきます。

【会社概要】
会社名 : タカノ株式会社
東京証券取引所スタンダード市場上場(証券コード:7885)
所在地 : 長野県上伊那郡宮田村137
代表者 : 代表取締役社長 鷹野 準
創業  : 1941年7月1日
設立  : 1953年7月18日
URL  : https://www.takano-net.co.jp
事業内容: 事務用椅子、その他椅子等のオフィス家具、ばね、エクステリア製品、エレクトロニクス関連製品 (画像処理検査装置、電磁アクチュエータ)、医療・福祉機器の製造ならびに販売

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