コマツ半導体関連子会社、露光装置の販売加速で30年に倍増目指す

ロイター / 2022年12月15日 14時58分

　１２月１５日、コマツの完全子会社で半導体露光装置を手掛けるギガフォトン（栃木県小山市）の浦中克己社長は１５日、高出力の波長の放射を可能とする「ＤＵＶ光源」の露光装置について、新規販売台数は２０２２年以降、それ以前の３倍以上に相当する年２００─３００台ペースで増加し、２０３０年には累計で現在比倍増の４０００台を見込むと表明した。写真はコマツのロゴ。都内で２０１３年１月撮影（２０２２年　ロイター／Shohei Miyano） [記事を読む]