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 12月15日、コマツの完全子会社で半導体露光装置を手掛けるギガフォトン(栃木県小山市)の浦中克己社長は15日、高出力の波長の放射を可能とする「DUV光源」の露光装置について、新規販売台数は2022年以降、それ以前の3倍以上に相当する年200─300台ペースで増加し、2030年には累計で現在比倍増の4000台を見込むと表明した。写真はコマツのロゴ。都内で2013年1月撮影(2022年 ロイター/Shohei Miyano) [記事を読む]

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