東芝、機械式・光学式の同等精度を有する小型MEMS慣性センサモジュールを開発

なお、東芝ならびに東芝電波プロダクツでは、今回開発した慣性センサモジュールならびに可搬型ジャイロコンパスについて、いずれも製品化できるレベルには精度的には到達したとしている一方で、モジュールとしての開発目標となる10cc級を実現するためにはさらなる回路の専門半導体化などによる小型化が必要であり、フレキシブルにダウンサイジングを進めつつ、ニーズに応じた市場に提供していくという戦略を採用したいとしているほか、今後の研究開発の方向性としては、今回の研究は温度変化を制御した環境での計測であるため、実用化のためにはロバスト的な環境の温度変化でも安定状態を維持できるのかを踏まえた研究などを進めていきたいとしている(国プロとしては2025年度末までに試作品を開発し動作させるというのが研究開発目標の到達点となっている)。

また、ジャイロコンパスについては、2026年度以降、船や航空機、レーダーなどをターゲットに製品化を目指していくとしているほか、バッテリの工夫などでこちらもさらなる小型化ができるとの見通しを示している。
（小林行雄）