産総研とEUV研究で連携、前工程から後工程まで半導体技術開発で日本との関係性強化を図るIntel

同社が日本のパートナーを重要視する施策の1つに、2024年4月に設立された半導体後工程の自動化・標準化を目指す技術研究組合「半導体後工程自動化・標準化技術研究組合(Semiconductor Assembly Test Automation and Standardization Research Association:SATAS)」がある。

Intelのファウンダリー技術開発本部 副社長 アナリティクス＆テクノロジー オートメーション中央技術部 ジェネラル・マネージャーであるジェフリー・ペッティナート氏は、「半導体の後工程は自動化されている部分もあるが、マニュアルでの作業も多く残されている。そうしたマニュアル部分を自動化することで、生産性の向上を図ろうというのがSATASの目指すもの。工場のすべてを自動化して、効率よく搬送できる相互運用可能なメインフレームを構築することで、設備の柔軟性を高めていくことを目指して、SEMIとも協力して業界標準とすることを目指している」と、SATASとしての取り組みの意義を説明。前工程と後工程の工場を近くに作ることで、サプライチェーンのリスク低減にもつながるとする。

「自動化された後工程の標準化を目指すが、オペレーションや設備の運用などについての検証も行っていく」としており、2028年の商業化を目指す。日本に設置されるパイロットラインは4000m2の広さで、AMHS(自動搬送システム)が導入されるほか、プロセスセルや搬送用トレイ/キャリアなどを統合して、その実用性の実証が進められる予定だという。

SATASの代表を務めるインテル代表取締役会長の鈴木国正氏は、「インテルの社長をやり始めて以降、いろいろな形で日本法人とIntel本社が一緒に動く、Japan for Intelという言葉を使ってきたが、その象徴的な動きがSATAS」だと説明。対象範囲を明確にしながら、それぞれの分野を担当する日本企業に参加してもらいつつ、それらのコーディネートをペッティナート氏を中心に進めていくのがインテル/Intelの役割だとする。また、「後工程の重要性や自動化の話が出てきているが、SATASはあくまで業界全体のための取り組み。半導体業界は大きな課題を抱えながらも成長が続くことが期待されている分野。その課題の1つである後工程の標準化を図ろうというのが、この取り組みとなる」と、あくまでインテルのための取り組みではないとし、インテルならびにIntel合わせた19社・団体で協力して実現に向けた取り組みを推進していくとした。