【ライブ配信セミナー】EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術 1月31日（月）開催 主催：(株)シーエムシー・リサーチ

本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったウェビナー（ライブ配信セミナー）となります。

先端技術情報や市場情報を提供している(株)シーエムシー・リサーチ（千代田区神田錦町： https://cmcre.com/ ）では、 各種材料・化学品などの市場動向・技術動向のセミナーや書籍発行を行っておりますが、 このたび「EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術」と題するセミナーを、 講師に関口　淳 氏　　リソテックジャパン（株） ナノサイエンス研究部 部長）をお迎えし、2022年1月31日（月）13:30より、 ZOOMを利用したライブ配信で開催いたします。 受講料は、 一般：44,000円（税込）、 弊社メルマガ会員：39,600円（税込）、 アカデミック価格は26,400円（税込）となっております（資料付）。
セミナーの詳細とお申し込みは、 弊社の以下URLをご覧ください！
　https://cmcre.com/archives/90397/
質疑応答の時間もございますので、 是非奮ってご参加ください。



EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代 EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。

1）セミナーテーマ及び開催日時
テーマ：EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術
開催日時：2022年1月31日（月）13:30～16:30
参 加 費：44,000円（税込） ※ 資料付
　　＊ メルマガ登録者は 39,600円（税込）
　　＊ アカデミック価格は 26,400円（税込）
講 師：関口　淳 氏　　リソテックジャパン（株） ナノサイエンス研究部 部長

【セミナーで得られる知識】
EUVリソグラフィーの基礎知識
EUVフォトプロセスの最適化方法の習得
EUVフォトプロセスの評価方法の習得

※本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。

2）申し込み方法
シーエムシー・リサーチの当該セミナーサイト
https://cmcre.com/archives/90397/
からお申し込みください。
折り返し、 視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
詳細はURLをご覧ください。
[画像: https://prtimes.jp/i/12580/1668/resize/d12580-1668-b0139625e7e879b7d581-0.jpg ]


3）セミナープログラムの紹介
1．EUVLの概要
　1.1　EUVLの概要
　1.2　EUVL用レジスト
2．アウトガス評価技術
　2.1　EUVLレジストのアウトガス評価方法
　2.2　EUVLレジストのアウトガス評価装置
3．EUVレジストの評価技術
　3.1　EUV透過率測定
　3.2　ナノパーティクル添加レジストの高感度化
　3.3　屈折率nk測定
　3.4　EUV2光束干渉露光
4．EUVメタルレジストの評価技術
　4.1　メタルレジストの概要
　4.2　EUVメタルレジストのアウトガス分析
　4.3　EUVメタルレジストの問題点
5．EUVフォトレジストと電子線レジストの感度

4）講師紹介
【講師略歴】
1983年3月　芝浦工業大学 応用化学科 卒業
1983年4月　日本ケミテック 入社。分析研究所に勤務
1985年4月　住友GCA社に入社。レジスト塗布現像装置のプロセス開発に従事。その後、レジスト解析装置および形状シミュレータのシステム開発に従事。
現在、リソテックジャパン（株） 専務取締役
2019年4月～　立命館大学 客員教授
2020年4月～　大阪府立大学 客員教授、大阪市立大学 客員教授
2000年　東京電機大学にて工学博士
応用物理学会 会員。高分子学会 会員
【活　動】
専門は、フォトリソグラフィー、バイオミメティクス。論文多数。
著書は、感光性フォトレジスト材料の評価、リソグラフィー技術・その40年、ノボラックレジスト・材料とプロセスの最適化（いずれもS&T出版）
講演多数

5）セミナー対象者や特典について
※ 本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★ 受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。

☆詳細とお申し込みはこちらから↓
https://cmcre.com/archives/90397/

6）ウェビナー（オンライン配信セミナー）のご案内
〇　冷熱を利用する低濃度CO2回収技術の開発
　　開催日時：2022年1月20日（木）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/86173/

〇　金属-有機構造体：MOFの技術と応用、研究動向
　　開催日時：2022年1月20日（木）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/89185/

〇　ダイヤモンド電極の応用展開
　　開催日時：2022年1月20日（木）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/88001/

〇　リチウム空気電池の劣化要因解析と新材料開発
　　開催日時：2022年1月20日（木）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/89909/

〇　メタネーション技術の過去・現在・未来
　　開催日時：2022年1月21日（金）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/88632/

〇　塗布膜乾燥のメカニズムと乾燥トラブル対策
　　開催日時：2022年1月21日（金）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/88804/

〇　ラジカル重合の基礎と反応解析、注意点
　　開催日時：2022年1月21日（金）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/87689/

〇　熱伝導コンポジット材料の微視構造設計と特性評価
　　開催日時：2021年1月24日（月）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/88796/

〇　バイオプラスチックの基礎と応用が分かる半日速習セミナー
　　開催日時：2022年1月24日（月）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/87229/

〇　医用高分子材料の基礎と応用
　　開催日時：2022年1月24日（月）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/89257/

〇　EV電池レアメタルのサプライチェーンリスク回避への材料戦略
　　開催日時：2022年1月25日（火）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/88560/

〇　水熱・超臨界水技術による資源変換・高付加価値化・循環利用
　　開催日時：2022年1月25日（火）10：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/89657/

☆開催予定のウェビナー一覧はこちらから！↓
　https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/

7）関連書籍のご案内
☆発行書籍の一覧はこちらから↓
　https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
以上

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